भ्याकुम म्याग्नेट्रोन स्पटरिङ प्रविधि भनेको क्याथोड सतह बहावमा इलेक्ट्रोनको चुम्बकीय क्षेत्रसँग महिला, द्विध्रुवी इलेक्ट्रोड सतहको प्रयोग हो, चुम्बकीय क्षेत्रको लक्ष्य सतह विद्युतीय क्षेत्रलाई लम्बवत सेट गरेर, इलेक्ट्रोनले स्ट्रोक बढाउँछ, आयनीकरणको दर बढाउँछ। ग्यासको, जबकि उच्च-ऊर्जा कणहरूले ग्यास र टक्कर पछि ऊर्जा गुमाउँछ र त्यसैले कम सब्सट्रेट तापमान, गैर-तापमान प्रतिरोधी सामग्रीमा पूर्ण कोटिंग।